1. Chuẩn bị:

a) Thân tâm thanh tịnh (tắm rửa sạch sẽ, không nghĩ ngợi lung tung)

b) Đặt một ly nước sạch trước bàn thờ Phật. Nếu mục đích là trị bệnh thì để các thứ thuốc thường dùng cạnh ly nước.

2. Toạ thiền/quán tưởng

a) Ngồi kiết già trước bàn Phật (hay một nơi thanh tịnh).

a) Thong thả hít vào thở ra thật sâu và dài 3 lần: Thanh thản theo dõi sự di chuyển của từng làn hơi thở.

b) Quán tưởng nơi giữa trái tim mình, nơi đó có một đài sen trắng 8 cánh. Trên đài sen có một nửa vầng trăng sáng. Trong vầng trăng nầy, có Phật Dược Sư từ từ thị hiện ra sáng dần lên. Trước Đức Phật Dược Sư (cũng là trước mặt hành giả), xuất hiện một vị thiên nữ màu trắng - biểu tượng cho trí tuệ. Bên phải Đức Phật Dược Sư, lại xuất hiện một vị thiên nữ khác, màu vàng - biểu tượng cho sự giàu sang, phú quí, cho một sự cao tột bực. Đàng sau Đức Phật Dược Sư, có thêm một vị thiên nữ màu đỏ - biểu tượng cho sức mạnh tiêu trừ tai chướng, bệnh tật. Sau cùng là phía bên trái Đức Phật Dược Sư có một vị thiên nữ màu xanh lục (xanh lá cây) - biểu tượng cho sự mạnh khoẻ, trường thọ. Bốn vị thiên nữ cũng như Đức Phật Dược Sư dần dần hiện rõ lên.

c) Quán tưởng có những luồng hào quang đủ màu phóng ra từ các vị thiên nữ và từ Đức Phật Dược Sư chiếu thẳng vào thân hành giả, lúc đó hành giả cảm thấy thân tâm mình an lạc và bắt đầu niệm "Nam Mô Dược Sư Lưu Ly Vương Quang Phật", niệm liên tục 3 lần.

3. Phục nguyện:

- Con xin nguyện trọn đời quy y tam bảo - Phật Pháp Tăng và bồ đề tâm kiên cố (tức là ước nguyện trở thành Phật).

- Cầu xin chư Phật 10 phương gia trì cho con (hay cho người thân) được dứt sạch chứng bệnh……, được đầy đủ thiện duyên và năng lực để tự độ và độ người khác xa lìa bệnh khổ, thân tâm an lạc …..(phần này tùy tâm hành giả muốn nguyện gì thì nguyện).

4. Trì chú Dược sư Quán Đảnh Chơn Ngôn (ít nhất 7 lần hay 21 lần hoặc 49 lần, nhiều nhất là 108 lần):

Nam mô Bạc già phạt đế, bệ sát xã,

lũ- lô thích lưu ly, bác lặc bà, hắc ra xà dã.

Đát tha yết đa tha, a ra hắc đế.

Tam miệu tam bột đà da, đát điệt tha.

Án bệ sát thệ, bệ sát thệ, bệ sát xã, tam một yết đế toá ha.

5. Hồi hướng công đức: Xin hồi hướng công đức này cho con được thành tựu như ý nguyện và xin chư Phật gia hộ cho việc làm của con trở thành hiện thực. (Kết thúc: Lạy Phật 3 lạy rồi uống nước hay thuốc, hoặc cho người bệnh uống).